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单项选择题
AlSi合金中含Si比例一般为（）。
A.1%
B.3%
C.5%
D.7% -
单项选择题
CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.He
B.Ar
C.N2
D.O2 -
单项选择题
蒸发台真空度的要求一般（）。
A.≤9E-7torr
B.≥9E-7torr
C.≤9E-5torr
D.≥9E-5torr
