多项选择题
自感式传感器的特点,下面描述正确的是()
A.灵敏度比较好,目前可测0.1μm的直线位移,输出信号比较大、信噪比较好
B.测量范围比较小,适用于测量较小位移
C.存在线性
D.消耗功率较大,尤其是单极式电感传感器,这是由于它有较大的电磁吸力的缘故
E.工艺要求不高,加工容易
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