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单项选择题
以下关于MEMS概念的描述中，错误的是（）。
A.通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置
B.在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸
C.特征尺寸为1μm~10mm为小型机构
D.特征尺寸为1nm~10μm为纳米机械 -
单项选择题
（）又被叫做灵巧传感器，这一概念最早是由美国宇航局在开发宇宙飞船过程中提出来的。
A.微型传感器
B.智能传感器
C.小型传感器
D.大型传感器 -
单项选择题
DS18B20是美国Dallas半导体公司继DS1820后推出的一种改进型数字（）。
A.湿度传感器
B.温度传感器
C.空气质量传感器
D.二氧化碳传感器
