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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 物理学 > 薄膜物理与技术

名词解释

溅射镀膜法

    【参考答案】

    利用带有电荷的离子在电场加速后具有一定动能的特点,将离子引向欲被溅射的物质作成的靶电极。在离子能量合适的情况下,入射离子......

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