单项选择题
超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。
A.三维
B.二维
C.平面
D.镜面
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单项选择题
超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。
A.平面运动
B.水平运动
C.位置运动
D.直线运动 -
单项选择题
在超精密加工中，微量进给装置用于（）微量调整，以保证零件尺寸精度。
A.主轴
B.刀具
C.主轴、刀具
D.主轴、刀具和尾架 -
单项选择题
下列不属于超精密车削加工的零件是（）。
A.分子束外延
B.纳米级表面的硬脆材料
C.VTR辊轴
D.塑料多面棱镜
