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单项选择题
光驰OTFC镀膜机离子源有（）片栅极片。
A、1
B、2
C、3
D、4 -
单项选择题
下列属于镀膜机粗抽阀门符号是（）。
A、LV
B、SLV
C、RV
D、SRV -
单项选择题
在相同光斑大小和蒸发速率的情况下，AL2O3电子枪功率（）SiO2电子枪功率
A、大于
B、小于
C、等于
D、不知道
