填空题
实现超精密加工的技术支撑条件主要包括（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
【参考答案】
超精密加工机理与工艺方法；超精密加工机床设备；超精密加工工具；精密测量和误差补偿
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填空题
超精密加工机理与工艺方法；超精密加工机床设备；超精密加工工具；精密测量和误差补偿
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