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判断题
在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制 -
单项选择题
离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）
A. 离子注入
B. 热扩散
