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多项选择题
镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是（）
A、使同圈的膜层厚度分布均匀
B、使内外排膜层厚度分布均匀
C、使同圈温度分布均匀
D、使内外排温度分布均匀 -
多项选择题
材料蒸发时，充氧的主要目的有哪些？（）
A、补充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜层吸收
B、使每次镀膜时，真空室内的真空状态相接近
C、使蒸发更稳定
D、使控制更精确 -
多项选择题
在镀膜过程中，石英晶振可以显示以下哪些数值？（）
A、蒸发速率
B、蒸发温度
C、真空度
D、膜层厚度
