问答题
简答题
什么是冷壁CVD？什么是热壁CVD？特点是什么？
【参考答案】
冷壁CVD：器壁和原料区都不加热，仅基片被加热，沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差，温度均匀性问题需特......
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