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集成电路工艺方法分为哪些？
【参考答案】
双极性工艺、CMOS工艺、BICMOS工艺。
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什么是集成电路工艺？
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分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。
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简述微电子、集成电路、集成度、场区、有源区、阱、外延。
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