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单项选择题
微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。
A.集成电路制造工艺
B.半导体制造工艺
C.晶圆纳米制造工艺
D.切削制造工艺 -
单项选择题
超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。
A.三维
B.二维
C.平面
D.镜面 -
单项选择题
超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。
A.平面运动
B.水平运动
C.位置运动
D.直线运动
