填空题
注入离子的射程主要由（）决定。确定注入离子分布的主要参数是（）及其（）。注入离子分布的一级近似为（）。可写成：
【参考答案】
离子能量、离子种类和衬底材料；平均投影射程；标准偏差；高斯分布
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填空题
注入离子的射程主要由（）决定。确定注入离子分布的主要参数是（）及其（）。注入离子分布的一级近似为（）。可写成：
离子能量、离子种类和衬底材料；平均投影射程；标准偏差；高斯分布
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