单项选择题
纳米微粒（），在熔点、磁性、热阻、电学性能、光学性能、化学活性和催化性等方面都发生了变化，产生一系列奇特的性质。
A.尺寸小，表面积小
B.尺寸小，体积大
C.尺寸小，表面积大
D.尺寸小，质量小
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单项选择题
光刻加工曝光中，由光源发出的光束经掩膜在光致抗蚀剂上成像，称为（）曝光。
A.扫描
B.掩膜
C.成像
D.投影 -
单项选择题
光刻加工中，（）是整个加工过程中需要处理的原料。
A.光敏抗蚀剂
B.光致抗蚀剂
C.光致抗腐剂
D.光敏抗腐剂 -
单项选择题
微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。
A.集成电路制造工艺
B.半导体制造工艺
C.晶圆纳米制造工艺
D.切削制造工艺
